光刻是什么？Mr Question解答

肚腩向前沖啊 · 发表于 12-3-2023 01:01 PM

DUV光刻機可以量產了，補齊雙工件台和平面光柵激光干涉儀，水平達到ASML，兩次光刻達14納米，三次達7納米，四次達5納米。

肚腩向前沖啊 · 发表于 12-3-2023 01:02 PM

DUV可生產5納米芯片，只用DUV，SAQP技術兩次光刻可微縮4倍，28納米縮至7納米，再伸延至5納米，EUV也需採用。EUV對DUV的成本比。

tcguanz · 发表于 12-3-2023 01:02 PM

成本太高了吧

肚腩向前沖啊 · 发表于 12-3-2023 01:04 PM

華為的EUV突破，華為+中科院研發EUV光刻技術，華為的專利聚焦技術，中科院的高能激光和專利物鏡設計，可能超越現有EUV到掩模亮度或降低EUV....

肚腩向前沖啊 · 发表于 12-3-2023 01:05 PM

華為回歸第一炮，華為鰓鵬侍服器芯片，28納米和7納米，在MWC 2023華為展出的多片黑膠紙芯片，是否華為芯片回歸？唯生產？怎樣製造？

肚腩向前沖啊 · 发表于 12-3-2023 01:06 PM

tcguanz 发表于 12-3-2023 01:02 PM
成本太高了吧

4个频道，慢慢看，慢慢消化

lumixcer · 发表于 12-3-2023 02:46 PM

本帖最后由 lumixcer 于 12-3-2023 02:47 PM 编辑

中国佬近年来已缔造多项突破，这叉烧机难不到他。。

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